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微热板芯片HHC1000

产品介绍

HHC1000 微热板芯片基于MEMS制造技术,用于MEMS气体传感器。采用悬膜式结构,功耗低,可靠性高。集成微型加热器和叉指电极,微型加热器用于为气体传感器提供合适的工作温度,叉指电极用于检测气敏材料的电阻变化。