PRODUCTSMEMS传感技术供应商
HFMV系列 气体质量流量计
特点
应用
风量检测仪 气体分析仪 气体探测器 微小物体的简单定位 微小元器件的拾取和放置检测

HFMV系列是用于气体流量检测的传感器,内置微纳感知自研MEMS硅基流量芯片。传感器在标况条件(20℃,1atm,65%RH)下输出气体质量流量信号,无需温度和压力补偿。该系列提供多个量程检测范围,响应速度快,适用于工业领域的多种气体流量检测。

注意事项

*1. 数据为20 ℃,1atm65%RH条件下测试得到;

*2. 响应时间为阶跃气流信号的T95时间;

*3. F.S.是以模拟信号的4 V1~5 V)代表满量程;

*4. 0KPa是指大气开放。